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    面版儲存櫃之氣流夾層設計與參數化分析
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 馮天駿 指導教授: 林顯群
    • 由於目前LCD面板的需求量越來越大,為了提升產品的良率且降低製造成本,於是本文以垂直層流式面板儲存櫃為研究課題,深入探討其中之氣流夾層區域,並著重於內部流場與污染粒子排除的分析;期望以不變動內部元件…
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